PMS的AirSentry II分子污染監(jiān)測系列的離子遷移率光譜儀用于空氣分子污染 (AMC)，可檢測空氣中氯化物、酸、胺和含氨物質的微小濃度或含量變化，并向用戶發(fā)出警報。這些使用點傳感器具有萬億分之一（ppt）的靈敏度，可提供快速響應、更高的檢測選擇性和可重復的性能。將Air Sentry II傳感器與中央軟件平臺相結合，可以方便地進行數據采集和分析。AirSentry II系列機載分子污染傳感器可提供連續(xù)的可操作數據，以便對污染源和污染事件做出有效反應。

性能優(yōu)勢

酸類和基底（胺類、氨以及氯化物）的高靈敏度檢測

使用點、多點式、移動式監(jiān)測應用的通用產品配置

體積小，可放在任何位置

以太網，RS-232, 4-20毫安輸出

系統價值

連續(xù)監(jiān)測關鍵點

耐久可靠的數據收集、控制、分析

長期數據穩(wěn)定性

最低的每份測試成本

場景應用

在蝕刻技術位置里的實時腐蝕監(jiān)測

在關鍵的光刻系統內的實時胺類以及氨的監(jiān)測

化學過濾器有效率的資格確認

遍及潔凈室以及生產工具里的污染源的追蹤和去除

前端開口片盒圓晶片存儲模塊內的污染分析