電子半導體行業的MAU機組，也稱新風機組(全外氣空氣處理機組)，工作原理是在室外抽取新鮮的空氣經過除塵、除濕（或加濕）、降溫（或升溫）等處理后通過風機送到室內，在進入室內空間時替換室內原有的空氣。可以實現對外氣的冷卻除濕、加熱加濕功能，以及全年的空氣過濾，去除有害氣體、空氣輸送等作用。

其中MAU機組空氣過濾段主要使用了化學過濾器、初效過濾器、中效過濾器和高效過濾器等來對空氣中的顆粒污染物、氣態分子污染物進行過濾。

化學過濾器

化學過濾器用于去除化學污染物(AMC)，化學過濾技術是利用特殊配置的化學過濾材料吸附污染物質，并讓污染氣體同濾料中的化學成分發生化學反應，把有毒有害的氣體污染物中和氧化成為無害的固體鹽類，從而達到去除污染氣體的目的。

主要分為： 平板型化學過濾器 、W型化學過濾器、箱式(有法蘭/無法蘭)化學過濾器、碳筒化學過濾器、插板式化學過濾器、V型化學過濾模塊等。

初效過濾器

初效板式過濾器主要初級過濾空氣塵埃粒徑(≥5.0μm)以上粗塵顆粒。一般用于通風空氣處理設備中的過濾段或新風系統的初級過濾，為保護下一級過濾器并延長其使用壽命而設置。

中效過濾器

中效袋式過濾器，主要用于捕集1-5μm的顆粒灰塵及各種懸浮物。主要應用于中央空調和集中送風系統的中級過濾及含塵量濃度較高的場所，也可用于工業領域的一般空氣凈化，作為高效過濾器的前置過濾器，以保護系統中下一級過濾器和系統本身。

高效過濾器

高效過濾器通常用于清除受控環境空氣中0.1um以上的顆粒灰塵及各種懸浮物，以便提供更潔凈的室內空氣，因此，它們常用于過濾系統的末端。

主要分為：PTFE板式高效過濾器、有隔板高效過濾器、W型高效過濾器、無隔板高效過濾器、無隔板液槽式高效過濾器、耐高溫高效過濾器等。

過濾器的選擇是否合理、過濾效率是否達標都對系統滿足工藝要求和節能減排有很大的影響，億天凈化已經為全國眾多企業提供了高品質空氣過濾器。

億天凈化是集空氣質量“檢測、凈化、監測”為一體的全鏈路數字化潔凈室解決方案提供商，從采樣-方案設計-過濾器搭配-凈化裝置匹配-檢測儀器-監測系統設計等實現閉環管理，優化工藝，實現最高效凈化。